一、项目编号： ZXCG012023042401
二、项目名称：纳米孔团队购买光刻机项目
三、采购类型：货物
四、成交信息
供应商名称：苏州中芯启恒科学仪器有限公司
成交金额(万)：20万元
成交标的信息：
货物 名称 |
品牌、规格型号 （或服务要求） |
数量/ 单位 |
单价 （元） |
总价 (元) |
| 光刻机 |
型号规格：Cchip-0019； 配置：暴光头系统、对准工作台、双视场对准显微镜、电控系统、气动系统； 技术参数：曝光面积110mmx110mm、曝光波长365nm、分辨力0.8μm、对准精度±0.5μm、掩模尺寸3英寸、4英寸、5英寸 样片尺寸2英寸、3 英寸、4英寸、厚度 0.1mm-5mm、照明不均匀性2%、掩模相对于样片运动行程X:±5 mm Y:±5 mm θ:±6°、曝光光源紫外LED，40mW、曝光量设定（倒计时方式 0.1-999.9 任意设定)、最大胶厚350、光源平行性≤1.8°、双视场显微镜0.5-4.5X |
1/台 |
200000 |
200000 |
五、评审专家（市场采购小组成员）：周腾，史留勇，陈致水，袁成宇，王娟
联系人：周腾，手机号：18689637366
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